铜制程产品研磨用
本公司的GPX在铜制程的工艺中有用于研磨铜的"HS-C"系列及用于研磨Barrier的"HS-T"系列。其研磨速率可自由调整，并能满足客户制造工艺中不同设计的的各类器件。
| 项目 | 单位 | HS-H635 | HS-T605 | HS-T815 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 用途 | - | Cu | TaN | ||
| 特点 | - | 低研磨颗粒含量 低压高研磨速率 |
高选择性 | 非选择性 | |
| 研磨速率 | Cu | Å/min. | 8,000 | 250 | 480 |
| TaN | 40 | 650 | 750 | ||
| SiO2 | - | <50 | 650 | ||
| SiOC | - | <50 | 200 | ||
